東京大、IGZOトランジスタとRRAMを3次元集積

東京大学生産技術研究所の小林正治准教授らは、膜厚が極めて薄い酸化物半導体「IGZO」を用いたトランジスタと、抵抗変化型不揮発性メモリ（RRAM）を3次元関連キーワードはありません