東京エレクトロン、次世代EUV向け装置をASMLに提供へ

東京エレクトロンは半導体ウエハー上に感光剤（フォトレジスト）を塗布・現像する「コータ・デベロッパ（塗布現像装置）」を提供する。同研究所に関連キーワードはありません