東京エレクトロン、合志市に研究開発棟を新設へ 最先端の半導体製造技術めざす｜熊本日日新聞社

半導体製造装置メーカーの東京エレクトロンが、研究開発のための新棟を子会社の東京エレクトロン九州（熊本県合志市）の合志事業所の敷地内に建設する計画を