東京エレクトロン、宮城の製造子会社で開発棟建設：2025年春の完成を予定 - EE Times Japan

東京エレクトロン宮城は、プラズマエッチング装置などを開発、製造する拠点である。半導体デバイスは、微細化などパターニング技術が進化し、高集積化や高性能化関連キーワードはありません