半導体3D実装を開拓、東京エレクトロンが「レーザー剥離装置」投入へ - ニュースイッチ

東京エレクトロンは半導体を垂直方向に集積する３次元（３Ｄ）実装向けに、接合した２枚のシリコンウエハーに対し、上部のウエハーと集積回路をレーザーで関連キーワードはありません