東京エレクトロン河合社長、「データやAIで生産性改善」

世界で半導体不足が深刻化するなか、半導体製造装置大手の東京エレクトロンは製造装置から様々なデータを取得し、工場の稼働率を高めるサービス関連キーワードはありません